مشاهده مقاله | فناوری انباشت لیزری در ساخت لایههای نانو و ...
انباشت چنین ترکیبهایی با استفاده از یک تک هدف، به وسیله سیستمهای تبخیری یا کندوپاش امکانپذیر نیست زیرا در حالت کلی فشارهای بخار جزئی و بازدههای کندوپاش عناصر مختلف در یک ترکیب با ...